Imọ paramita
| Tiwqn | Akoonu | CAS No. |
| Omi funfun | 85-90% | 7732-18-5 |
| Iṣuu soda benzoate | 0.1-0.2% | 532-32-1 |
| Surfactant | 4-5% | ∕ |
| Awọn miiran | 4-5% | ∕ |
Ọja Awọn ẹya ara ẹrọ
1, Ga ayika Idaabobo ipele: Yiyan etching le ti wa ni waye lai awọn lilo ti Organic ìtẹlẹ bi TMAH.
2, Low gbóògì iye owo: Lilo NaOH / KOH bi awọn etching omi, awọn iye owo jẹ Elo kekere ju awọn acid polishing ati etching ilana.
3, Ga etching ṣiṣe: Akawe pẹlu awọn acid polishing ati etching ilana, awọn batiri ṣiṣe ti wa ni pọ nipa diẹ ẹ sii ju 0.15%.
Awọn ohun elo ọja
1, Ọja yi ni gbogbo dara fun Perc ati Topcon batiri sii lakọkọ;
2, Dara fun awọn kirisita ẹyọkan ti 210, 186, 166, ati awọn pato 158.
Awọn ilana fun lilo
1, Ṣafikun iye ti o yẹ ti alkali sinu ojò (1.5-4% da lori ipin iwọn didun KOH / NAOH)
2, Ṣafikun iye ti o yẹ ti ọja yii sinu ojò (1.0-2% da lori ipin iwọn didun)
3, Gbona omi ojò didan si 60-65 ° C
4, Fi wafer ohun alumọni pẹlu ẹhin PSG kuro sinu ojò didan, akoko ifarahan jẹ 180s-250s
5, Niyanju àdánù làìpẹ fun ẹgbẹ: 0.24-0.30g (210 wafer orisun, awọn orisun miiran ti wa ni iyipada ni dogba ti yẹ) nikan ati polycrystalline PERC oorun ẹyin
Àwọn ìṣọ́ra
1, Awọn afikun nilo lati wa ni ipamọ ti o muna kuro lati ina.
2, Nigbati awọn gbóògì ila ti ko ba producing, awọn ito yẹ ki o wa ni replenished ati ki o drained gbogbo 30 iṣẹju.Ti ko ba si iṣelọpọ fun diẹ ẹ sii ju wakati 2 lọ, a gba ọ niyanju lati fa ati ṣatunkun omi.
3, N ṣatunṣe aṣiṣe laini tuntun nilo apẹrẹ DOE ti o da lori ilana kọọkan ti laini iṣelọpọ lati ṣaṣeyọri ibaamu ilana, nitorinaa mimuuṣiṣẹ pọsi.Ilana ti a ṣe iṣeduro ni a le tọka si n ṣatunṣe aṣiṣe.
